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微機電系統，簡稱MEMS，是指將電子元件和機械元件集成到一個微器件內，這些元件可單獨運轉也可組合運轉。微機電系統的尺寸為微米到毫米量級。微機電系統把計算、傳感和驅動融合在一起，所集成的微器件具有重量輕、尺寸小、成本經濟、功耗低等特點。與傳統醫療器械相比，具備更多功能。

MEMS器件可為醫療保健市場提供服務並適應各種應用需求。例如，使用加速度計來改善心臟疾病的治療。在給藥領域，MEMS和納米技術的應用尤為廣泛。

生物MEMS包含微傳感器、微執行器、微光學器件、微流控器件、運算元件和醫用控釋系統，用以改善人類健康並提高生活質量。生物MEMS使用了半導體微加工技術進行生產製造。

生物MEMS技術或許將在未來徹底改變給藥方式。

生物MEMS技術在加速度計、陀螺儀、光學MEMS、圖像傳感器、流量計、壓力傳感器、噴嘴、泵、閥、哮喘吸入器、外科醫療器械、微流控芯片/微分配器等領域都有相關應用。

結合納米技術，生物MEMS可用於製備骨科和牙科的塗層和復合材料。

因為生物MEMS可以有助於更好地解析病症，它們可用於疾病的長期診斷和治療。此外，生物MEMS還可用於射頻識別（RFID）、應變傳感器、能量收集器件。

由於外科手術器械、移動保健應用、藥物傳輸領域越來越多地使用生物MEMS技術，2015-2019年全球生物MEMS和微系統市場的複合年增長率預計將達到25.1%。

製造商正致力於開發新設備來監測病患，以掌握病人的健康狀況和藥物療效，因此，未來幾年全球生物MEMS和微系統市場將獲得顯著增長。這些微系統器件將幫助醫生對診斷和治療做出重要抉擇，也能幫助醫生監測患者病情。生物MEMS技術將減少傳染病和其它疾病的風險。它們還能幫助降低醫療保健成本，使更多病人能夠獲得良好的治療。

縱然有上述利好因素的推動，全球生物MEMS和微系統市場也面臨著一些嚴峻的挑戰。最主要的挑戰是市場對生物MEMS技術及其應用範圍缺乏意識。不管醫生還是病人，都不敢確定是否應該採用生物MEMS技術來治療多種疾病，因為他們對這項新技術的副作用心存疑慮。

藥物監測和移動醫療保健應用正在蓬勃發展，各種各樣的健康監測類移動應用層出不窮。這些應用可以記錄心率、血糖水平、體重指數等，也可以記錄個人病史並跟踪日常活動。