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據麥姆斯諮詢報導，Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems（德國弗勞恩霍夫光子微系統研究所，以下簡稱IPMS）開發出一款新型靜電微執行器，僅需很低的功耗和驅動電壓就可以實現大幅度垂直或側向偏轉。該技術可用於擴展現有微系統解決方案，還可以通過創新設計開發新的應用領域。在Photonics West 2017（2017美國西部光電展）上，IPMS將在其中一場商品貿易展上首次展示這款新型靜電驅動彎曲執行器。

靜電驅動微執行器在智能手機、可穿戴產品、汽車、植入註射泵或微型投影儀中均有應用。如今，具有可動部件的高度微型化電子機械系統（MEMS），為光學、通訊、生物技術以及測量和醫療技術領域的無數應用提供了技術基礎。靜電場通常被用於驅動執行器。IPMS開發的納米級靜電驅動（NED）執行器將產生靜電力的電極間距降低至僅數百納米，但同時還能獲得超過100微米的大幅偏轉運動。

“通常更大的電極間距才能產生大幅的偏轉運動，因此，通常都需要較大的驅動電壓，”IPMS負責人及該項研究團隊帶頭人Harald Schenk教授解釋道，“不過，對於我們的納米級靜電驅動執行器，靜電力被轉為側向力，這些側向力在彎曲梁中會產生準靜態偏轉，這種偏轉實質上要大於電極間距。”

該納米級靜電驅動執行器的應用領域非常廣泛，Harald Schenk教授領導的研究團隊目前正為微型光學變焦鏡頭系統、微泵、微閥、聽覺可穿戴及助聽器應用的微型揚聲器設計定位驅動。在此研究過程中，該項技術可以證明其具備規模量產的潛力。該納米級靜電驅動執行器採用傳統MEMS表面微加工和體微加工製造工藝，可以很方便的集成進入半導體組件和CMOS電路。