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固態傳感器、執行器及微系統研討會中矽基器件演講論文的比例

自1984年以來，“固態傳感器、執行器及微系統研討會”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技術的展示舞台。該國際研討會是MEMS領域最具競爭力的會議之一，眾多提交的參會文摘中，只有10%的論文能夠榮幸獲得演講機會。

該研討會是窺視未來商業化產品的窗口。例如，早期的研討會上出現了許多關於MEMS加速度計和陀螺儀的論文，不久這些產品就逐漸在市場上佔據主導地位。

在近些年的固態傳感器、執行器及微系統研討會上，出現了令矽材料從業者感到不安的趨勢——關於矽材料技術的論文數量逐年降低。在2016年6月的研討會上，僅有53%的演講論文是關於矽材料器件的（只要器件中包含了矽材料，無論是作為被動基底還是活性材料）。

從過去12年來的演講主題可以清晰的看出，矽材料微型器件的學術研究熱潮已經開始逐漸消退。

學術研究人員現在開始專注於開發聚合物和紙基微型器件。利用這些材料開發的器件，不僅工藝環保，而且製作設備簡單、成本較低。相對矽材料，它們大幅縮減了研發經費預算。許多聚合物和紙基微型器件的創新都指向了醫療應用，對該領域來說，生物相容性和材料的柔性是基本要求。

紙基和聚合物微型器件的功能和性能開發，目前還處於相對早期的階段，這類器件的生產設施目前也還沒有開發出來。這些新技術的成熟和商業化，可能還需要超過10年的時間。

那些還寄希望於學術界來為他們開發新型矽基MEMS技術的產業從業者，估計要失望了，因為學術界研究人員已經開始逐漸放棄矽材料研究。

但是，基於矽材料的微型器件研究，還有很多創新工作要做，這意味著產業界需要重拾懈怠已久的矽材料研發，不然就會面臨發展停滯的風險。