根據調研機構Yole 《MEMS產業現狀-2016版》報告顯示,2015年全球MEMS市場規模為119億美元(不含玻璃/聚合物微流控芯片,下同),相比2014年的110億美元,增長了8.2%。預計2021年將接近200億美元,出貨量達到300億顆。

目前,MEMS市場主要由手機和汽車應用驅動。例如智能手機中的加速度計、陀螺儀、MEMS麥克風、RF MEMS等。這些MEMS器件的銷售量與手機市場息息相關。對於汽車應用,如加速度計應用於安全氣囊,陀螺儀和加速度計應用於車身穩定控制,壓力傳感器應用於燃料供給系統和動力傳動系統等。

Yole也發布了2015年全球排名前30的MEMS廠商,其中包括10家日本廠商:電裝(Denso)、松下(Panasonic)、佳能(Canon)、旭化成(Asahi Kasei Microdevices)、村田(Murata)、阿爾卑斯電氣(Alps Electric)、羅姆(ROHM)、索尼(Sony)、歐姆龍(OMRON)和愛普生(Epson)。

《MEMS產業現狀-2016版》報告涵蓋了上述10家領先的日本廠商,同樣也介紹了其它一些日本廠商的最新狀況。

1. 汽車MEMS

松下的MEMS業務由旗下的汽車與工業系統公司運作,主要產品有陀螺儀、加速度計、壓力傳感器、紅外傳感器等。此外,松下正在研發基於MEMS技術的新型醫療應用系統。

電裝的主要產品是汽車電子應用的加速度計,特別是在汽車安全系統(如安全氣囊、車輛穩定控制系統、防抱死制動系統)中廣泛採用的MEMS加速度計。此外,電裝還提供壓力傳感器產品。

2. MEMS微鏡

索尼提供應用於投影儀的MEMS微鏡,甚至包括應用於大型激光投影的MEMS成像元件。此外,索尼也為其它MEMS廠商提供MEMS代工服務。

3. 電子羅盤

旭化成是全球電子羅盤(3軸磁力計)的主要供應商,將霍爾技術廣泛應用於消費類電子產品中,如智能手機和平板電腦。

愛知製鋼(Aichi Steel)自2013年起,與羅姆展開合作,生產磁阻傳感器——電子羅盤的核心元件。

4. 噴墨打印頭

佳能採用光刻等半導體製造工藝和自己的專利技術來生產矽基噴墨打印元件,包括加熱器、驅動電路和噴嘴等。

精工愛普生擁有噴墨打印頭,以及基於自己的專利技術——“QMEMS”的石英晶體振盪器。此外,精工愛普生還研發了小型MEMS陀螺儀,尺寸為2mm x 2mm。

5. MEMS麥克風

歐姆龍的MEMS產品豐富,包括流量傳感器、非接觸式溫度傳感器、壓力傳感器、振動傳感器和MEMS麥克風。歐姆龍為意法半導體(ST)提供核心的MEMS麥克風裸片。

新日本無線(New Japan Radio)於2013年8月開始量產MEMS麥克風,目前正在加強該業務發展。除了自己在日本工廠生產MEMS麥克風,還將部分產品外包給台灣代工廠——聯電(UMC)。

6. 電子元件廠商

TDK將MEMS器件製造外包給代工廠,如壓力傳感器。然而,TDK正在將位於甲府(Kofu)的電子元件製造線轉型為MEMS製造線。2016年7月,TDK宣布收購了一家法國MEMS製造商——Tronics Microsystems,該廠商主要生產溫度傳感器、壓力傳感器、磁傳感器(包括TMR)。

村田提供應用於汽車的MEMS陀螺儀、磁傳感器等產品。2011年,村田收購了芬蘭MEMS公司——VTI Technologies(現在名稱為Murata Electronics),並擴大其產品組合,涉及汽車和醫療領域的各種傳感器。村田在汽車電子穩定控制系統的加速度計領域擁有很大的市場份額。

阿爾卑斯電氣的MEMS器件主要包括MEMS陀螺儀、壓力傳感器、磁力計等。此外,阿爾卑斯電氣與GENIALLIGHT就生物傳感器的產業化建立了業務合作關係。

7. 其它MEMS廠商

羅姆的MEMS產品主要有加速度計、陀螺儀,以及基於薄膜壓電元件的壓力傳感器。而且,羅姆利用薄膜壓電技術正在發展MEMS代工業務。2009年,羅姆收購了一家美國MEMS公司——Kionix,其主要產品是加速度計。

富士電機(Fuji Electric)主要提供MEMS代工服務,自己的產品是陀螺儀。

日立的MEMS產品主要有氣流傳感器、壓力傳感器、加速度計、陀螺儀和汽車流量傳感器。此外,日立也提供MEMS代工服務。

其它日本MEMS廠商還有橫河電機(多種MEMS)、雅馬哈(磁力計)、三菱電機(加速度計和RF MEMS)、富士通(RF MEMS和激光MEMS)、東芝(RF MEMS)。

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