日立化成开发出了传输损耗和热膨胀都很低的多层材料“MCL-HS100/HS100(E)”,并在6月1~3日举行的“第44届日本电子电路产业展(JPCA Show 2016)”上进行了展示。这是一种用于高频半导体封装和模块的基板材料,设想用于智能手机、交通基础设施等通信用途使用的封装基板。预定2016年秋季前后开始提供样品。
“低传输损耗低热膨胀多层材料 MCL-HS100/HS100(E)”的展板。
扇出型晶圆级封装(FOWLP)用材料的展板。
该产品是为了解决(1)薄型封装时加热导致变形、(2)高频处理导致传输损耗增加这两个问题而开发的基板材料,具有以下两个特点:(1)热膨胀系数低,(2)相对介电常数和介电损耗低,传输损耗小。
此次运用了日立化成的聚合物合金化技术,并使用介电常数低的玻璃纤维布,使MCL-HS100(E)的X-Y方向热膨胀系数降至8~11ppm/℃,相对介电常数(Dk)降至3.4~3.6(10GHz),介电损耗(Df)降至0.0025~0.0045(10GHz)。
此外,日立化成还面向扇出型晶圆级封装(FOWLP),展示了适合用于大尺寸加工的薄膜状封装材料“EB-4000S”、可进行高密度布线(布线宽度及布线间隔均为2μm)的再布线层用层间绝缘材料“AS-500HS”以及“DH系列”的开发品。据该公司介绍,AS-500HS支持半加成法(Semi-Additive)工艺,热膨胀系数为18ppm/℃,与铜非常接近,介电损耗(Df、5GHz)仅为0.003,特点是传输损耗低。DH系列支持更适合微细布线的干法工艺,弹性模量仅为2.0GPa(室温),具有伸展性。该公司打算在2016年度内开始量产这些材料。
(记者:宇野 麻由子)
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