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X-FAB，這家已經出貨超過十億MEMS器件的晶圓廠，日前又再次發表業界首個為微機電系統（MEMS）三軸慣性傳感器提供的開放性平台，一個可以直接從代工廠量產的工藝。那些需要進入新的3D慣性傳感器的無晶圓設計（Fabless）公司可以直接在這個工藝上進行設計開發或使用X-FAB的合作設計公司的方案，而且可以直接上量，無需再進行長時間和巨資的工藝開發。X-FAB的開放性平台製程可以加快產品導入市場並保證慣性傳感器的質量。

新型的MEMS技術可適用於非常廣泛的應用領域，例如手機、消費與遊戲類產品、玩具、汽車、機器人、工業與醫療等使用三軸加速度計或陀螺儀。同一個工藝可以生產單軸與雙軸的加速度計，而加速度計和陀螺儀也可在同一個工藝中集成在單一芯片上，以實現六自由度的慣性測量單元。

X-FAB的MEMS產品線經理Iain Rutherford表示，”X-FAB開放性平台工藝開啟了MEMS產業的新世代。我們正在改寫歷史，把“一種產品、一套工藝”的限制轉換到開放性的平台，此方法給予任任意客戶使用世界級質量的工藝做多領域的應用開發，此舉能讓我們的客戶快速地實現他們的目標。”

X-FAB的新技術具備高可靠度、單晶矽的慣性質量與drive-combs、特有的埋層連接技術讓單一的金屬層可以完成複雜的金屬引線鍵合、還有低寄生電容和EMI防護。三軸慣性傳感器的新工藝補足了X-FAB於2003年所建立並已被客戶使用的單軸/雙軸慣性傳感器、壓力傳感器、與紅外線感應熱電堆（thermopile）的開放平台技術，其中還包含現成的2g、10g、100g的加速度計IP。為了保證該技術的特性、穩定與高良率，X-FAB對該三軸慣性傳感器的技術進行一步一步地質量驗證。