據麥姆斯諮詢報導,歐洲電子組件與系統領先聯合(ECSEL)計劃在羅馬於2016年12月1日宣布Lab4 MEMS項目在意大利羅馬歐洲納米技術論壇期間贏得了2016年度創新獎。
自2014年1月成立以來,Lab4MEMS被確定為下一代MEMS器件的關鍵使能技術中試生產線項目,拓展如壓電材料、磁性材料和3D封裝技術,來提升下一代智能傳感器、執行器、微泵和能量收集器。這些技術被公認為對未來數據存儲、打印、醫療保健、汽車、工業控制、智能建築,以及智能手機和導航設備等消費電子應用需求有重要貢獻。
在接受獎項時,Lab4MEMS項目協調人暨意法半導體歐洲研發與公共事務部項目經理Roberto Zafalon表示:“ECSEL創新獎彰顯了Lab4MEMS團隊的項目執行力和其成功的影響力。另外,Lab4MEMS開發了創新的MEMS解決方案和先進的MEMS壓電材料、磁性材料以及先進的3D封裝技術。”
為運作這個2800萬歐元(注:項目總成本2820歐萬部分由ECSEL資助,其餘分別來自於來自以下各個國家機構出資:意大利、法國、馬耳他、荷蘭、芬蘭、比利時、波蘭、挪威、奧地利、羅馬尼亞)為期36個月的Lab4MEMS項目,意法半導體領導協調了遍布十個歐洲國家的二十個產業、學術和科研組織合作夥伴。該項目利用意法半導體在法國、意大利和馬耳他的MEMS設施建立一整套集設計、生產、測試和封裝於一體的下一代MEMS製造能力中心。
Lab4MEMS項目開發的器件、技術和應用領域主要為:
- 微執行器、微泵、傳感器、能量收集器集成在採用壓電薄膜技術的矽基MEMS器件中,可應用在數據存儲、打印、醫療保健、汽車、能量收集和自動對焦等領域。
- 磁力計:滿足GPS定位,室內導航和智能手機等消費電子應用的需求。
- 開發先進封裝技術和垂直互連技術,包括倒裝、矽通孔(TSV)、穿塑孔(TMV)技術實現3D集成封裝,滿足體域傳感器和遠程健康監控等消費電子和醫療保健應用的需求。
所有這些成功促成Lab4MEMS項目圓滿完成,並使項目合作方受益。Lab4MEMS項目合作方還包括Politecnico di Torino(意大利)、Fondazione IstitutoItaliano di Tecnologia(意大利)、Politecnico di Milano(意大利)、Consorzio Nazionale Inter Universitario per la Nanoelettronica(意大利)、Commissariat à l'Energie Atomique et aux énergies alternatives(法國)、SERMA Technologies SA(法國)、STMicroelectronics Ltd.(馬耳他)、Universita ta Malta(馬耳他)、Solmates BV(荷蘭)、Cavendish Kinetics BV(荷蘭)、Okmetic OYJ(芬蘭)、VTT(芬蘭)、Picosun OY (芬蘭)、KLA-Tencor ICOS(比利時)、Universitatea Politehnica din Bucuresti(羅馬尼亞)、Instytut Technologii Elektronowej(波蘭)、Stiftelsen SINTEF(挪威)、Sonitor Technologies AS(挪威)、BESI GmbH(澳大利亞)。
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