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（a）製作的機械振盪器的顯微鏡照片（俯視圖）和（b）實驗模式圖（側視圖）

熱噪聲的頻譜，可以將熱噪聲減半

日本電信電話公司（NTT）與日本東北大學共同實現了通過照射激光降低MEMS機械振盪器熱噪聲的“激光冷卻方法”。MEMS振盪器主要用於傳感器和信號發射器等，此次的技術有望提高其精度。

“激光冷卻”是一種通過照射激光讓對象物釋放能量使其冷卻的方法。此次，研究人員利用晶體生長技術實現了光學特性和壓電特性優異的砷化鎵（GaAs）及砷化鋁鎵（AlGaAs）各200nm厚的半導體二層構造，利用微細加工技術加工成了機械振盪器。憑藉靈敏的光吸收特性，只吸收特定波長的光，把此時產生的內部電壓作為對熱振動的製動力使用，從而降低了熱噪聲。

此次製作的機械振盪器是長20μm、寬14μm、厚0.4μm的板彈簧狀。只需向振盪器的根部照射激光，就能將熱振動減半。

以前，激光冷卻需要利用精密的光共振器。而此次的方法無需光共振器，還可以作為半導體集成元件使用。今後NTT和東北大學還將進一步推進研究，以提高冷卻效果、實現與激光元件的集成以及室溫下工作等。

此次取得的成果刊登在了《Nature Communications》電子版（10月19日）上。