中芯國際執行副總裁李序武表示,28納米製程除了第一家客戶高通(Qualcomm)量產,博通(Broadcom)和華為旗下海思28納米也會到中芯生產,大陸本地IC設計公司對28納米需求更是超強。但談到台積電到大陸設12吋晶圓廠,李序武坦言“台積電的實力強到我每天都睡不好!”

李序武表示,中芯目前28納米製程良率很不錯,但仍是有改善空間,重要的是,高通願意作為第一家量產28納米製程的客戶,對於中芯高度肯定,目前量產的28納米是PolySiON製程,下一個目標是趕快將28納米的HKMG製程做出來。很多大客戶都在等待28納米的HKMG製程,一旦量產,海思和博通都會來中芯投產。

除了這些國際IC設計大客戶之外,另一波絕對不容忽略的趨勢,是大陸本地IC設計公司對於28納米製程需求超強,很多本地IC設計客戶都說“只要中芯28納米HKMG就緒,隨時去投產”而這也意味著,其實來自客戶端的壓力逼得緊。

近期在種種因素考量下,台積電也將到大陸設立12吋晶圓廠,李序武表示,台積電技術和競爭力超強,強到讓他每天都睡不好。也期許中芯在先進製程開發和良率驅動會更加一把勁。

中芯日前宣布和高通、華為、比利時微電子(Imec)一起開發14納米FinFET製程,目前Imec已有一個團隊常駐在中芯廠內,但主要技術開發重任仍是要中芯努力,Imec只是要提供一些基礎技術和專利,李序武也表示,這確實可以讓中芯少走一些冤枉路。

中芯在投入14納米FinFET製程之前,也評估過像是FD-SOI技術,這技術在2年前非常吸引人,雖然整體表現沒有FinFET製程好,但FD-SOI技術的優點是相較於現有製程改變不多,但最後還是走FinFET製程,主要是因為多數客戶都是需要FinFET製程。

李序武也指出,中芯的14納米FinFET製程預計在2018年早期風險量產(Risk Production),此前中芯宣布的量產時間點是2020年。

除了先進製程追著摩爾定律跑,在“超越摩爾定律”(More than Moore)佈局上,看好智能型手機、物聯網(IoT)時代下MEMS感測器需求大爆發,據中芯規劃,2015年量產MEMS麥克風、慣性感測器(Inertial Sensing),預計2016年量產壓力感測器等,一步步齊全MEMS感測器產品線全線技術。

針對未來半導體技術,李序武也指出三大技術趨勢,第一是整合型芯片,如MCU+RF/Wireless、MCU+eNVM+ RF/Wireless;第二是低功耗技術Ultra-Low Power;第三是3DIC /TSV/WLCSP等封裝技術。

針對RF/Wireless芯片,中芯現以0.11微米、65/55/20納米製程技術生產,未來除了既有的0.11微米製程,以及65/55納米製程,也會轉進40/28納米製程技術;嵌入式存儲器Embedded NVM/MCU技術上,目前是以0.18/0/13微米LL eNVM技術為主,未來會轉進0.11微米和55/40/28納米ULL eNVM技術。

在電源管理芯片PMIC產品上,技術會由0.18~0.13微米LG/LDMOS轉到65/55納米Ultra Efficient LG/LDMOS;在影像感測器CIS上,目前以0.18~0.11微米、90~55納米製程為主,未來會轉到90納米~55/40納米3D CIS技術。

目前中芯國際有四個生產基地,12吋晶圓廠以北京和上海廠為主,北京12吋晶圓一廠月產能3.7萬片,製程技術為0.18微米~55納米,二廠剛開始量產,未來會以先進製程40~28納米為主;上海12吋廠月產能為1.4萬片,製程技術也是鎖定45/40~28納米;其他8吋廠有上海、深圳和天津廠。

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