半導體設備供應商——科林研發(Lam Research)日前宣佈完成收購MEMS建模和模擬軟體供應商Coventor。但是，一家半導體晶圓設備供應商為什麼要收購一家軟體公司？特別是一家專注於設計微機電系統(MEMS)晶片與次10奈米(nm)半導體——例如3D FinFET——的軟體公司？
業界分析師們幾乎都預期Coventor將會被Lam Research所吸收，最後成為Lam Research旗下的軟體部門。但是，在最近於美國加州舉行的年度MEMS與感測器高峰會議(MEMS & Sensor Executive Congress 2017；MSEC)上，兩家公司表示仍將分別位於不同的公司總部，未來將依靠雙方在硬體與軟體協同設計上發揮綜效，使其於市場競爭中具有更多競爭優勢。
Coventor MEMS營運副總裁Stephen Breit在MSEC上介紹：「Coventor最初是一家MEMS設計軟體公司，專注於MEMS晶片上實現微米級三維(3D)結構設計。而今，我們的業務中有一大部份是設計奈米級3D半導體，主要支援以往未曾跨足的製程整合與開發市場。」
Stephen Breit
同樣地，Lam Research一直在為MEMS晶圓廠開發設備，同時也深入於次10nm半導體晶圓設備市場。兩家公司聲稱，儘管Coventor保有其獨立的公司總部與設施，而且仍將繼續銷售產品給Lam Research的競爭對手，但兩家公司的合作將有助於簡化並加速開發流程。
Lam Research的高效能晶圓蝕刻系統 （來源：Lam Research）
Lam Research策略行銷總監Michelle Bourke說：「Lam Research是製造用於生產MEMS設備的供應商，特別是先進的慣性感測器和RF MEMS元件。現在，隨著業界對於壓電和壓阻元件(如指紋感測器、麥克風和諧振器)變得越來越感興趣，我們的技術也隨之發展而能滿足這些新的製程要求。」
Bourke說：「除了我們的蝕刻技術之外，還提供了一系列用於MEMS的沉積解決方案，以及晶圓削薄與背面去污到單晶圓清潔等產品。」
Michelle Bourke
Lam Research和Coventor都可望能從雙方的合作關係中受益，共同分享與發揮彼此在硬體/軟體上的專業知識，以提高產品性能、縮短生產到測試的週期以及新產品開發時間。根據兩家公司表示，使用Lam Research的硬體和Coventor軟體的客戶也將在此進展中的MEMS可製造性設性(DFM)能力中受益。
Breit說：「我們將共同在設計過程中導入所有的製造變數，因而能夠大幅縮短開發時間。我認為它將為我們帶來一加一大於二的合作綜效。」
CoventorMP開發週期，從MEMS+佈局的參數化設計入門到CoventorWare材料和製程工具，到設備級、系統級(借助於直接連接至Matlab)和電路級(借助於直接連接至Cadence)的建模與模擬工具。
CoventorMP MEMS平台 (來源：Coventor)
編譯：Susan Hong
(參考原文：Lam's Coventor Buy Boosts MEMS Manufacturing，by R. Colin Johnson)
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