日趨尖端的半導體微細製程和FinFET製程效應,讓主要半導體企業加速確保半導體測量和分析技術。尤其在10納米以下半導體製程中,測量的準確性影響企業的生產效益和芯片性能,三星電子(Samsung Electronics)、SK海力士(SK Hynix)等韓國代表性企業也積極投資研發技術。

據Digital Times報導,三星進入2015年後,存儲器、系統LSI事業部總計增加750多人等,加強測量部門,SK海力士也大規模延攬博士級專業人才。目前三星和SK海力士測量設備有9成以上依賴美國進口,每台要價20億~30億韓元(約172萬~258萬美元),未來將透過與韓國企業加強合作,確保本身的技術能力。

三星在存儲器、系統LSI事業部各設置測量技術團隊。以2015年為基準,包含操作員,存儲器事業部和系統LSI事業部各擁有300多及450多位測量技術人員。除管理、檢測外,直接開發測量技術相關解決方案的工程師,也有150多人。

SK海力士自開始研發及生產3D NAND Flash後,大幅擴編測量技術人才。2015年大規模延攬博士級測量技術人才,在數量和質量方面都將持續擴大。SK海力士內部人員表示,伴隨微細製程複雜化,不僅2015年,2016年SK海力士也持續增加半導體製程的測量和分析人才。

主要半導體企業加強測量技術,是因製程複雜,漸漸難以確保良率。從平面結構跨越到FinFET立體結構,分析過程更為困難。

為加強半導體測量技術力,全球企業間的購併活動變得活躍,美國設備業者的影響力也更強大。近期設備業界最大的交易案之一,就是美國設備大廠科林研發(Lam Research)購併晶圓檢測設備廠科磊(KLA-Tencor),科林透過購併確保微細測量和精準的分析技術。

另一方面,韓國測量設備的國產化仍遙遙無期。韓國設備業界人士透露,目前主要半導體業者使用的美國製半導體分析設備,無法確保10納米以下的準確性。

Source: Digitimes

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