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在2003年樓氏電子為MEMS麥克風鋪平道路之後，2005年，意法半導體（ST）成為MEMS領域的先驅之一，成功地將MEMS器件應用到手機中，實現運動感測功能。此後，意法半導體的MEMS營收從2005年不到1億美元迅速增長到2012年的10億美元，成為全球第一家達到10億美元銷售的MEMS公司。根據Yole最新發布的《2015年MEMS產業報告》（詳情請訪問：http://www.mems.me/MEMS-Sensors_201505/1896.html）可知，意法半導體在許多領域都是領先的，包括消費類加速度計和MEMS代工服務。意法半導體還擁有強大的產品組合，包括陀螺儀、6軸和9軸慣性組合傳感器、MEMS麥克風和微鏡。英特爾（Intel）採用其微鏡進行感知計算，開闢新的人機交互應用。

自從2012年高峰期之後，意法半導體的MEMS營收已經下跌至8億美元，主要原因：博世、樓氏電子和InvenSense與其在消費電子領域的激烈競爭。近期，我們採訪了意法半導體的執行副總裁兼模擬、MEMS和傳感器部門的總經理Benedetto Vigna先生，了解公司未來在MEMS領域的發展方向、手機以外市場的多元化策略，以及如何扭轉MEMS營收不斷下滑的趨勢。麥姆斯諮詢作為Yole中國區戰略合作夥伴，為大家帶來最新消息。

圖1 意法半導體的執行副總裁兼模擬、MEMS和傳感器部門的總經理Benedetto Vigna

新興MEMS傳感器、成本顯著降低、軟件和新技術的重要性日益增加、行業巨頭和中國代工廠的崛起：2020年全球MEMS產業將超過200億美元！2014年，矽基MEMS器件的市場規模達到111億美元。由於智能手機和平板電腦的巨大市場需求，MEMS產業發展進入快車道，後續還有增長潛力無限的可穿戴和物聯網（IoT）市場驅動。一些MEMS器件的製造成本僅為幾十美分，如運動傳感器正成為一種廉價商品，就像幾年前的溫度傳感器一樣。成熟的工藝滿足了更大的市場容量和多種傳感器系統集成的需求，這也促使MEMS製造將快速向下一代晶圓尺寸（12寸）轉移。

Yole：您能否介紹一下意法半導體的MEMS產品線，以及目前的狀態？

Benedetto：意法半導體的MEMS研發工作始於20年前的熱式噴墨打印頭（MEMS執行器）。2005年，我們開始大批量生產消費類加速度計。這開啟了一波消費類MEMS的浪潮。2010年，陀螺儀進入大批量生產。

2011-2012年，我們預見到MEMS慣性傳感器的下滑，因此我們開始研發新產品和新技術。MEMS麥克風和環境傳感器是意法半導體兩類新的傳感器。此外，我們在之前熱式執行器的基礎上，開發了壓電、靜電和電磁執行器，如掃描鏡。

當然，我們也在為加速度計和陀螺儀開發消費類以外的市場，如汽車、工業和醫療。相比四年前，我們的戰略更加多元化，因此我們的產品也擁有更為廣闊的市場。

Yole：意法半導體在MEMS領域的競爭優勢是什麼？

Benedetto：意法半導體的競爭優勢如下：我們的產品種類非常豐富，涵蓋傳感器和執行器，目前量產的MEMS麥克風也有很好的增長勢頭。我們已經開發出一款超低功耗（0.5mA）6軸組合慣性傳感器（加速度計+陀螺儀），很適合可穿戴設備，日前剛推向市場。意法半導體應用於光學防抖的超小、超薄型陀螺儀也是一款新產品，正在推薦給客戶。

所有這些產品都是由意法半導體領先的MEMS技術和製造工藝支持的，並且與公司其它產品（微控制器和無線產品）具有很強的協同效應。我們還開發了傳感器融合軟件，在網絡上免費開放給開發者。對於傳感器應用開發來說，我認為這將是一個偉大的平台。

圖2 意法半導體的五種MEMS合作方式

Yole：過去5-10年，智能手機一直是MEMS的主要市場驅動力，而現在看來，可穿戴設備和物聯網將是未來的機遇。意法半導體如何從這些機遇中獲益？

Benedetto：未來，智能手機將集成更多類型的傳感器（如環境類傳感器），智能手機還將是一個有趣的市場。我們看到了陀螺儀在光學防抖和行人航位推算的市場機遇，以及MEMS麥克風在智能手機中繼續增長的勢頭。智能手機的MEMS業務逐漸壓縮，然而我們看到了可穿戴設備、智慧城市和智慧環境等機遇。由於我們擁有完整的解決方案（參考BlueMicrosystem1），因此意法半導體處於有利地位。欲了解更多信息，請訪問：www.st.com/bluemicrosystem1

麥姆斯諮詢註解： BlueMicrosystem1開發框架是溫度、濕度、壓力和/或運動/位置數據感測、處理、發送功能的整體解決方案，非常適用於開發物聯網產品、可穿戴設備等需要高性能、低功耗無線傳感器的應用。其中，傳感器擴展板包含濕度/溫度傳感器、MEMS氣壓傳感器和慣性傳感器模塊。慣性模塊內置3D數字加速度計、3D數字陀螺儀和3軸MEMS磁強計。這些傳感器共同構成一個擁有10個自由度的（10 DOF）的位置檢測系統。詳情：http://www.mems.me/Product_201504/1992.html

圖3 意法半導體BlueMicrosystem1 Open.Framework

麥姆斯諮詢註解：如需了解更多環境類傳感器信息，請參加6月13日『第十五屆“微言大義”研討會：環境檢測傳感器與系統』，會議網站：www.MEMSeminar.com

Yole：您看到汽車市場又將成為未來MEMS增長的重要驅動力，如全自動駕駛汽車（無人駕駛汽車），意法半導體計劃如何應對該市場？

Benedetto：汽車MEMS是一個重要的細分市場，將在未來顯著增長。在汽車非安全應用領域，我們的MEMS排名是第一的。現在行駛在亞洲和歐洲道路上的汽車中已經有我們的MEMS傳感器。

Yole：您可以點評下意法半導體的新產品嗎？如微鏡、氣體傳感器和紅外傳感器。另外，你們是否有計劃推出其它類型的傳感器？

Benedetto：產品多樣化是必須的。未來，只有一種傳感器的MEMS企業是不可持續發展的。目前，我們推出多種MEMS系列產品，並將繼續研發更多類型的產品（包括傳感器和執行器），以保持營收增長。

Yole：您認為能夠改變當前“遊戲規則”的下一代MEMS技術是什麼？先進封裝？傳感器融合？12寸代工？壓電薄膜？

Benedetto：壓電薄膜，絕對是一個能夠改變當前“遊戲規則”的下一代MEMS技術。

Yole：關於壓電薄膜，你們宣布將在今年年底實現自動對焦執行器和噴墨頭的量產。您可以介紹下意法半導體所面臨的挑戰嗎？還有哪些其它產品未來將使用這項技術？

Benedetto：壓電薄膜技術是非常適合商業和工業領域的快速印刷市場，同時也適合高速微型執行器改變光線路徑和移動微小物體。自動對焦執行器是我們正在和合作夥伴共同研發的一款產品。

Yole：您有沒有看到一些大型半導體廠商（目前還沒涉及MEMS）進入MEMS領域的潛在威脅？

Benedetto：我看到半導體界正在經歷一場整 ​​合，但是不會有新的廠商出現。MEMS市場還不夠大，但是已經有很多廠商競爭，因此，現在已經沒有空間讓新的廠商進入。

Yole：InvenSense收購Movea行為，說明了傳感器融合是一個熱門話題。您可以介紹下傳感器融合在意法半導體中的定位嗎？您如何展望它的未來？

Benedetto：傳感器融合是非常重要的，但是客戶也希望自由地使用意法半導體的傳感器，或者與其它公司產品混合使用。因此，我們決定開放意法半導體的傳感器融合軟件，客戶可以自由使用，並滿足他們的需求。

Yole：意法半導體正面臨著博世、InvenSense的激烈競爭，儘管陀螺儀的出貨量還不錯，但是您認為慣性傳感器市場是否依然有吸引力？

Benedetto：消費類MEMS傳感器，尤其是在智能手機細分市場中，已經成為“大眾消費品”，市場競爭慘烈，這是一個事實。但是意法半導體相信，該市場依然有吸引力，我們將開發適合新興物聯網應用的超低功耗和高精度產品。

Yole：我們看到意法半導體的傳感器已經從高端智能手機轉向中低端智能手機，旨在尋找中國手機的市場機會。您是否認同我們的分析？

Benedetto：我們沒有放棄高端市場。我們目前在高端、中低端智能手機中都有出貨。僅僅2014年，我們的慣性傳感器就進入了70款智能手機。

Yole：影響你們的出貨量和營收的因素是什麼？

Benedetto：對於意法半導體，中國是一個不斷增長的市場，我們的陀螺儀和組合傳感器的銷量越來越多。

Yole：2015年意法半導體的MEMS展望是什麼？

Benedetto：我不能具體介紹，但是我看到未來一些產品的強勁發展勢頭，如高性能、亞微安（sub-mA）6軸組合傳感器、2 x 2 mm智能加速度計、光學防抖陀螺儀和MEMS麥克風。

Yole：您覺得意法半導體MEMS增長的下一步是什麼？

Benedetto：通過多元化保持增長，這是我們的“座右銘”。多元化有四層含義：產品多元化、市場多元化、應用多元化和技術多元化。

關於意法半導體

意法半導體（STMicroelectronics，ST）是全球領先的半導體解決方案供應商，為客戶提供MEMS和傳感器、功率器件、汽車產品和嵌入式處理器解決方案。從能源管理和節能技術，到數字信任和數據安全，從醫療健身設備，到智能消費電子，從家電、汽車，到辦公設備，從工作到娛樂，意法半導體的微電子器件無所不在，在豐富人們的生活方面發揮著積極、創新的作用。意法半導體代表著科技引領智能生活（life.augmented）的理念。2014年，意法半導體位居全球MEMS公司排名第二位。