真乄科技業的頂尖投資團隊

中國國防、航空航天、工業生產和自動控制，如運載火箭燃料室的壓力測量、發動機燃燒室壓力監測、供油壓力、導彈飛行的平衡控制以及石油工業的井下壓力測量等，都需要高精度、高穩定性、耐惡劣環境的壓力傳感器，而且大多需要金屬彈性襯底的薄膜電阻應變壓力傳感器，因為金屬的機械性能優良，耐高溫性能和耐腐蝕性能都很好，而薄膜電阻應變壓力傳感器敏感度高，能適應現代科技發展的要求。

研製能適應各種惡劣環境測壓要求的壓阻式薄膜傳感器，其關鍵技術在於合金敏感薄膜的製備。高電阻穩定性的合金敏感薄膜是保證壓力傳感器在各種惡劣環境下仍具有穩定的高靈敏度的關鍵。

我們生活的環境中處處存在著微能量，但是筆者卻從沒想過這些微小的能量竟然可以發電。近期，筆者了解到一家在研究微能量採集技術的公司，北京微能高芯科技有限公司（以下簡稱：北京微能），他們是一個年輕的團隊，卻在做著不一樣的事情，他們通過採集環境及人體活動中的聲、光、熱、力等各種形式的能量，將其轉化為電能，為微低功耗電子系統或設備供電，極大延長電子產品的續航時間，甚至實現無限續航，從而使一些電子產品不再需要電池。

筆者走進他們公司發現，在短短的一年多時間內，他們已經研發出不同類型的能量採集器件及自供電的產品。下面介紹一些核心能量採集器件。

SEMI會員公司分佈按地區細分

新開發的石墨烯絕緣柵傳感器示意圖（左），以及傳感器產​​品的掃描電鏡顯微照片（右）

據麥姆斯諮詢報導，歐洲電子組件與系統領先聯合（ECSEL）計劃在羅馬於2016年12月1日宣布Lab4 MEMS項目在意大利羅馬歐洲納米技術論壇期間贏得了2016年度創新獎。

美國ADI公司（ADI公司）2016年11月09日發布了新款RF用MEMS開關“ADGM1304 / ADGM1004”，與機械式繼電器相比，大幅削減尺寸，降低功耗。這是一種SP4T 封裝中集成了利用MEMS技術製成的靜電驅動開關和驅動器2個芯片。

氣體傳感器是消費應用市場（包括智能手機應用）增長速度最快的傳感器之一。所有的智能手機製造商都在致力於環境傳感器與手機的集成化，以期為消費者提供新功能。這類傳感器的應用包括空氣質量監測、呼吸分析和食物質量分析。同時，汽車電子應用方面，氣體傳感器可用於車內空氣質量監控。Yole在《氣體傳感器技術和市場》報告中強調：2014年，氣體傳感器市場規模為5.6億美元，預計2021年將達到9.2億美元，未來五年的複合年增長率為7.3%。

暖通空調（HVAC）和未來的消費類應用是市場增長的主要動力。如果氣體傳感器被智能手機採用，那麼2021年市場將有額外的6500萬美元的增長。通過氣體傳感器相關專利的分析，發現有趣的是市場領導者（Honeywell、MSA）和微型氣體傳感器主要專利權利人（Bosch、Siemens、NGK）之間並不一致，這預示著氣體傳感器市場即將發生改變。具體的信息可以參考Yole 《微型氣體傳感器專利分析報告》。為了了解最新的氣體傳感器市場趨勢，我們採訪了英國ams（艾邁斯）公司高級市場經理Paul Wilson。下文是關於ams在氣體傳感器領域的最新舉措。

芬蘭VTT國家技術研究中心(VTT Technical Research Centre of Finland)的研究人員在iPhone的相機光學堆疊中整合了電性可調的微光學機電系統(MOEMS)結構，打造出據稱是首款全整合型的超光譜智慧型手機。

該公司宣佈，因應對於該公司的「明顯利益」，將考慮多種選擇，以提高股東的價值。該公司董事會並已為此聘請了一位財務顧問，協助其評估這些「投資意向」，同時也尋求其他可望推動InvenSense進步的選擇。不過，這項評估作業目前並未設定完成的時間表。

但是，誰會有興趣收購這家蘋果(Apple)的主要供應商？一般估計潛在的買家包括Sony、意法半導體(STMicroelectronics)，以及英特爾(Intel)。

五十五所與華為公司共同研發的E波段MEMS雙工器技術取得重大突破，研製出國產首款MEMS波導型雙工器。9月28日，雙方聯合研發團隊在五十五所對研製的E波段MEMS雙工器進行比對測試，產品性能與國外著名MEMS代工產線的樣品性能相媲美，完全滿足華為應用需求。

該E波段MEMS雙工器採用了五十五所自主開發的MEMS濾波器工藝Know-How技術，優化精簡了雙工器工藝流程，與國外代工線相比，在性能相當的情況下，顯著降低了生產成本。E波段MEMS雙工器將國產MEMS濾波器頻率提升到E波段，產品的研製成功將極大推動我國高頻寬帶濾波器核心器件研製進程。

DARPA（美國國防部先進研究項目管理局）正在為戰區用以監控美軍行軍路線安全性的傳感器開發一種新的供能方法。DARPA的官員Troy Olsson在美國佛州奧蘭多舉辦的2016 IEEE傳感器論壇（10月30日~11月2日）中的主題發言中，介紹了它們目前正在開發的近乎0功耗的射頻技術和傳感器工作方式。

到2018年，DARPA的目標是實現能夠部署的待機功耗近乎為0的傳感器網絡，研究團隊很快發現要實現這個目標必須採用MEMS技術。不僅如此，研究人員還發現了應用MEMS技術的額外優勢，而且是之前無法想像的優勢。MEMS技術不僅能夠實現近乎為0的待機功耗，MEMS技術通過利用被探測信號本身的能量來為收發器供電，能夠實現真正完全的0功耗待機。並且在某些條件下，收發器也可以無需電池供電，通過利用太陽能、振動能量收集器等再生能源，將能源儲存在一個超級電容中實現自我供能。

2015年全球已封裝MEMS麥克風供應商的營收排行榜

2015年央視著名記者柴靜拍攝的紀錄片《穹頂之下》點燃了國人對空氣污染的大討論。在人類賴以生存的大氣環境裡，充滿了呼吸必須的氧氣，也存在對人體有害的氮氧化物、二氧化硫、二氧化碳等氣體，以及PM2.5等顆粒物。大氣污染，在不知不覺中侵蝕著人體的健康，輕者帶來身體不適，重者引起癌症等惡性疾病。室內污染和車內空氣污染，以裝修建材和汽車內飾揮發的甲醛、苯等揮發性有機化合物（VOC）等為罪魁禍首，嚴重的污染會引起視線模糊、青少年記憶力下降、胎兒畸形、白血病等。

2014年8月，崑山一家金屬製品工廠的拋光車間發生特別重大粉塵爆炸事件，造成上百人死亡。車間內氣體、顆粒物濃度監控及管線洩露探測（如粉塵、氧氣、一氧化碳、硫化氫、鹵素氣體、煤氣、天然氣等）對安生生產的重要性不言而喻。另外一個場景，醫生或者醫學研究者需要測量培養基增養的細菌樣本的氣體成本以及呼氣氣體中所包含的特定的體現病理情況的氣體成分，為病情診斷提供確實可信的數據信息。

Heptagon是一家圖像、照明及晶圓級集成傳感器產業領先廠商，ams（奧地利微電子）通過對Heptagon公司的併購，在MEMS和傳感器產業方面又向前邁進了一大步！ams之前陸續收購了TAOS、Applied Sensor、NXP旗下CMOS傳感器業務、CMOSIS、MAZeT以及Cambridge CMOS Sensors。此後，ams在這一2015年價值220億美元的產業（其中包括價值100億美元的CMOS圖像傳感器市場）中的地位迅速提升，詳情請見Yole最新的兩份報告《CMOS圖像傳感器產業現狀-2016版》和《應用於手機和平板電腦的傳感器-2016版》。

智能手機已成為每人不缺少的電子產品，當你用智能手機接聽電話，聲音則是通過聽筒和話筒裡的聲學傳感器（MEMS麥克風）來接收。在聽力減弱的老年人和聽力喪失人群中，助聽器成為不可或缺的“助手”，而助聽器信號鏈的前段則是MEMS麥克風。在可穿戴設備、語音控制車輛系統、智能家居、VR/AR遊戲等需要音頻定位、自動語音識別、自動說話人識別的新興領域，MEMS麥克風充當為人機交互的“橋樑”的角色。

在人工智能發展的紅紅火火的時代，首先要識別外界信息，接收外界聲音信息，MEMS麥克風則如同人類的耳朵，獲取聲音信息。巨大的應用市場，讓MEMS麥克風在中國MEMS產值市場的份額僅位於壓力傳感器之後，位列第二名。據Yole的數據，2014~2020年MEMS麥克風的複合年增長率為17.8%，產值預計將從2014年的7600萬美元增至2020年的2.03億美元。

微型氣體傳感器專利申請趨勢

飛利浦創新服務作為橫跨消費、醫療技術的行業巨頭——荷蘭皇家飛利浦電子公司的一部分，計劃將其位於荷蘭埃因霍溫的MEMS晶圓代工廠產能翻倍。發言人表示，該生產線目前年產能為15000片6英寸和8英寸晶圓，根據計劃，公司年產能將提高到30000片晶圓（該數據通過折合為7層光刻層的典型工藝流程換算） ，投資預計將於2017年到位。業內普遍認為飛利浦退出半導體加工行業是由於2010年其與荷蘭恩智浦半導體公司真正分家，然而其位於荷蘭埃因霍溫的晶圓研發部門卻被保留下來。

飛利浦計劃將其MEMS代工廠規模翻倍