應用材料公司推出可應用於智慧型手機的高階影像感測器新技術  

應用材料公司推出全新 Applied Producer Optiva化學氣相沉積系統,可製造先進背照式 (BSI) 影像感測器,應用於最先進的智慧型手機、平板電腦與高階相機。創新的 Producer Optiva系統具備獨家功能,可沉積低溫的共形薄膜,能大幅提升感測器的低光效能,同時增進其耐久力。這項關鍵效益能夠顯著提高裝置良率,進而降低成本。

應用材料副總裁暨介電質系統與模組事業處總經理比爾‧麥克林塔(Bill McClintock)表示:「對應用材料公司而言,新興的BSI影像感測器設計能提供客戶需要的技術,讓客戶在快速成長的市場中獲致成功。Optiva低溫製程能在我們超快速的Producer平台上執行,為晶片製造商創造優勢,預估在 2014 年之前BSI 影像感測器需求高達3 億個。」

先進的影像感測器配備直接置於光電二極體上的微透鏡,藉以提高每像素的集光能力。Producer Optiva系統在微透鏡上覆蓋了一層堅固的透明薄膜,可減少反射現象與刮痕,保護鏡片不受環境破壞,因而強化微透鏡的效能。重要的是,Optiva是第一套能以低於 攝氏200度的溫度達成大於95%共形沉積的系統,對感測器製造中所使用的溫度敏感聚合物與黏合劑而言,這項特色不可或缺。

市場研究公司iSuppli表示,2014年將有四分之三的智慧型手機配備 BSI 感測器(2010 年為 14%)。此外,許多領導製造商正努力轉型至12吋晶圓,讓每片晶圓製造出雙倍數量的感測器,並使用最先進的晶片製造設備,以提高工廠產能。

Applied Producer Optiva化學氣相沉積系統也可針對3D晶片封裝,用來沉積矽穿孔(TSV)的共形絕緣膜。在這種應用中,若要保護將晶圓貼合於暫時性載體的黏著劑,低處理溫度即是關鍵。

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