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低溫多晶矽（Low Temperature Polysilicon, LTPS）製程之平面顯示器（面板）將成為殺手級應用。主要係來自於智慧型手機應用對於高性能面板之需求，正趨動LTPS製程LCD液晶面板和AMOLED主動式矩陣有機發光顯示器產能快速擴張。 2010年全球LTPS製程生產設備市場規模僅約5億余美元，預估2011年將暴增至24億美元，年增超過3倍，並將突破前次高峰（2002年約17-18億美元） 、可望創下新高。 

 
目前TFT-LCD面板主要製程技術，包括非晶矽a-Si、多晶矽Poly-Si等等技術，其中a-Si技術最為成熟，是當前主流。多晶矽製程又分為低溫多晶矽LTPS和高溫多晶矽HTPS。由於採用LTPS製程技術生產的LCD面板，有利⋯⋯於提高面板開口率，使顯示器亮度提升、耗電降低，適用於生產更輕薄、低耗電、高解析度之產品。 

 
LTPS製程可使高解析度LCD液晶面板達到高傳輸和低功耗等效能，也是目前唯一能用來大量生產AMOLED面板的方法。而Samsung的AMOLED面板Galaxy手機，以及Apple的LCD面板iPhone 4，更成功推動高階手機顯示器的性能標準達到高水平，目前亦只有LTPS製程技術能符合要求。 

 
預期2011年，包括AMOLED和LTPS液晶面板的供給，都將非常吃緊。雖然面板廠商都正以最快速度爭相建立相關新產能，但以2011年來看，新增產能仍不足以應付相關需求。因為2011年新加入的LTPS製程新產能，要到2012年才能大量開出。 

 
另方面，技術較領先的面板大廠，也正嘗試將5.5代線LCD液晶面板生產線，導入LTPS製程，這些成本較高的生產線開始投入製造大型LTPS玻璃，也是促成LTPS製程設備支出將於2011年顯著增長的重要因素。 

 
展望未來預測，2012年至2013年全球LTPS製程生產設備相關支出，仍將維持相對高檔。至於LTPS製程技術發展趨勢將持續多久，可能取決於下一個殺手級應用，以及LTPS製程技術能否使AMOLED面板成功滲透到大尺寸面積的TV電視應用市場。