從GE獨立出來僅幾個月的MEMS初創企業Menlo Micro,已經通過了其晶圓級數字微開關(Digital Micro Switch, DMS)技術平台的生產驗證。
Menlo Micro致力於為功率和RF(射頻)應用製造微機械開關,並驗證了其低於50fs的產業領先的RonCoff性能。在未來12~18個月內,Menlo Micro預計將出樣RonCoff性能低於10fs的開關器件,這樣的性能已經達到了傳統開關的10倍。
除了重要的品質因數RonCoff,Menlo Micro還驗證了其高於+90dBm的線性性能,這比最先進的傳統開關的性能還要高15~20dB。該公司目前開發的開關在12GHz的插入損耗低於0.3dB,帶寬覆蓋直流DC至18GHz,並能擴展至更高的頻率範圍,包括毫米波。
利用從GE(通用電氣)排他許可獲得的專利材料、設計和晶圓級工藝技術,Menlo Micro的DMS技術具有值得信賴的可靠性,而且它不僅能處理kW級的功率,還能向下縮減尺寸和成本,使其能與絕緣體上矽(SOI)相比具有成本競爭優勢。
其開關採用專利的合金材料濺鍍在玻璃晶圓上製得,該玻璃晶圓利用了供應商兼投資商康寧公司(Corning Incorporated)的玻璃通孔技術(through glass vias, TGV)。 Menlo和Corning正合作為應用TGV技術的高性能半導體玻璃晶圓打造供應鏈,擴大製造規模。 Menlo同時也積極地和多家技術合作夥伴一起致力於將DMS技術許可至消費類移動手持設備市場。
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