荷蘭代爾夫特理工大學(Delft University of Technology)與日本北陸先端科學技術大學院大學宣佈,其開發出了在紙上「印刷」多晶矽層的技術,相關論文發表在了學術期刊《應用物理快報》(Applied Physics Letters)上。

此次開發的印刷方法是:
(1)在沒有氧氣和水分的環境下,將「矽墨水」塗布到加熱至80℃的基板上,矽墨水是將環戊矽烷(CPS,氫鍵合在矽的5節環上而形成)溶解在溶劑中製成的;

(2)在溫度為100℃的環境下,照射波長為365nm的紫外線(UV),然後使CPS聚合形成聚矽烷;

(3)向聚矽烷層照射數十納米的准分子鐳射,變成多晶矽。上述包括TFT形成過程在內的程式的工藝溫度不會超過150℃,可利用更多的柔性基板。

利用這項技術製作的TFT的載流子遷移率最大為23.5cm2/Vs。在按照這種方法製作的TFT中,只照射一次較高能量鐳射製作的NMOS的載流子遷移率為2.6cm2/Vs、PMOS的載流子遷移率為3.9cm2/Vs。通過反覆照射多次較弱鐳射製成的NMOS的載流子遷移率為21.0cm2/Vs,PMOS的載流子遷移率為23.5cm2/Vs。

通過一次照射製作的NMOS和PMOS的電流導通截止比在104以上,而通過多次照射製作的NMOS和PMOS的電流導通截止比則較低,分別在103、102以上。

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