半導體裝置及設備公司青睞的晶圓廠與機台自動化產品設計商暨製造商 Crossing Automation Inc.推出其 18 吋分類機—Spartan 450。同時,該公司宣布其全新分類機已接獲一半導體領導龍頭的訂單。此平台預估將於 2012 年第一季出貨。

Gartner研究總監Samuel Tuan Wang指出 :「18吋晶圓對半導體廠商深具吸引力,因為整個矽晶表面部分及其良率均較小尺寸的晶圓來得大。近幾年來,12吋晶圓發展蓬勃,已取代 8 吋晶圓,成為晶圓技術的主流。由12吋晶圓邁入18吋晶圓將使晶片生產力加倍,且半導體產業將有機會持續茁壯成長。」

Crossing Automation的Spartan 450分類機為市場首批專門生產18吋晶圓的大型分類機。它融合所有關鍵功能以與製造執行系統 (MES) 接合,進而啟用全方位晶圓管理。它初期鎖定22奈米技術節點,可縮小至7奈米節點。全新分類機的設計採用經生產驗證的 Crossing 12吋Spartan平台,至今已有逾1,000個系統應用在高產量的製造上。與12吋Spartan相同,18吋分類機以單機、整合單位設計,可更快達成機台安裝與工具連結,移動更簡便,提高靈活性,加速極致生產率。

Crossing Automation行銷副總經理May Su表示:「Crossing Automation長久以來致力於產品發展的投資,以滿足全新與新興市場,而18吋晶圓製造也不例外。憑藉在交付經驗證的自動化解決方案方面的悠久歷史,我們脫穎而出。」

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