真乄科技業的頂尖投資團隊

新加披科技研究局（Agency for Science, Technology and Research，以下簡稱A*STAR）微電子研究院（Institute of Microelectronics，以下簡稱IME）發起成立了MEMS第三聯盟（MEMS Consortium III）來開發前沿MEMS技術。此舉將促進MEMS 傳感器獲得更好的性能、更高的能效和更小的外形。

MEMS第三聯盟成員包括行業領先的應用材料（Applied Materials）、Coventor、台達電子（Delta Electronics）、格羅方德半導體（GLOBALFOUNDRIES）、應美盛（InvenSense）、SPTS Technologies、Standing Egg、日本真空技術株式會社（ULVAC）、維易科（Veeco）及另一家電子公司。憑藉IME在MEMS傳感器領域的經驗和工藝平台，聯盟將共同開發可用於多種產品和應用的工業級慣性傳感器和壓力傳感器，如電子穩定控制系統、資產跟踪、無人機、汽車和可穿戴設備。為實現這一目標，聯盟成員將專注於縮小現有工業級慣性傳感器和MEMS傳感器之間在性能、成本、尺寸方面的差距。

印刷電路板上的能量採集器

聯盟也將開發氮化鋁（AlN）調頻MEMS慣性測量單元，包含一個3軸加速度計、一個3軸陀螺儀和一個壓力傳感器，以及氮化鋁慣性工藝流程平台和工藝設計套件。與現有MEMS傳感器相比，氮化鋁MEMS慣性傳感器擁有諸多優勢，如抗噪、高精度、更好的線性度以及更簡單的讀出電路設計。憑藉更低的成本和更小的封裝尺寸，氮化鋁MEMS慣性傳感器將更符合工業級性能需求。

消費類、汽車和工業領域對傳感器器件的需求不斷增長，傳感器行業將面臨更複雜的挑戰，需要開發具有更多先進功能、更小封裝尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和傳感器技術的研發對解決上述挑戰而言至關重要，也能為各類應用對MEMS器件的大規模採用鋪平道路。預計到2018年，全球MEMS市場規模將超過220億美元。

358 MHz氮化鋁MEMS振盪器

IME及其工業合作夥伴在MEMS第二聯盟（MEMS Consortium II）成功開發了具有先進功能並可以量產的MEMS器件，例如一款能量採集器、一款振盪器和一款磁力計。

IME的執行董事Dim-Lee Kwong教授表示：“IME在MEMS技術領域所取得的成績與產業合作密不可分，充分體現了開放式創新對科技進步的驅動作用。我們將研發與產業經驗相結合，開發出成本經濟的創新型技術解決方案，並將驅動新一代電子器件實現大批量生產和商業化。”

基於洛倫磁力的3軸磁力計

格羅方德半導體MEMS項目高級總監Rakesh Kumar博士說：“格羅方德半導體是IME主辦的MEMS聯盟的創始會員之一。加入MEMS第三聯盟，我們希望與MEMS行業領先的公司取得合作，通過技術創新來加強我們的MEMS技術組合，最終為我們的客戶提供廣泛的技術能力和創新型解決方案。”

應美盛技術和全球製造副總裁Mo Maghsoudnia先生指出：“創建充滿活力的研發合作關係，對加快創新型解決方案商業化至關重要。IME的MEMS聯盟是一個開放的創新型平台，能夠幫助我們在超越摩爾和後摩爾時代識別和開發最好的技術和產品。”

關於A*STAR微電子研究院

微電子研究院是新加披科技研究局科學和工程研究理事會旗下的研究機構，該機構的定位為學術界和產業界研發的橋樑，A*STAR IME的使命是通過開發戰略性能力、創新型技術和知識產權，為新加坡半導體行業增值；讓企業變得更具科技競爭力；培養技術人才庫，不斷為產業注入新的知識和技術。A*STAR IME的主要研究領域為集成電路設計、先進封裝、生物電子和醫療器械、MEMS、納米電子學和光學。

關於新加披科技研究局（A*STAR）

A*STAR是新加坡領先的公共部門機構，該機構以經濟為導向進行研究，開發先進的科學發現和創新型技術。通過開放式創新， A*STAR致力於與公共和私人機構通過合作共贏，造福社會。

作為一個科學和技術機構，A*STAR縮小了學術界與產業界之間存在的鴻溝。我們的研究為新加坡創造了經濟增長和就業機會，並通過貢獻社會效益改善人們的生活質量，如改善醫療成果、城市生活和可持續發展。

A*STAR在我們的機構和研究院、其它研究團體和產業界的各類技術人才和領導人才的培養和開發中，扮演著重要角色。A*STAR管理著18所位於啟奧生物醫藥園和企匯園（新加波緯壹科技城內的兩個研究中心）的生物醫學科學、物理科學和工程研究領域的研究機構。

關於Coventor

Coventor是為半導體工藝技術和MEMS技術開發提供自動化設計解決方案的市場領導者。Coventor為全球廠商提供快速而準確的“虛擬製造”，幫助工程師在開發過程中提前了解有可能對製造產生影響的因素，減少耗時和昂貴的矽學習週期。Coventor公司的MEMS設計解決方案用於開發汽車、航空航天、工業、國防和消費電子，包括智能手機、平板電腦和遊戲系統中所使用的MEMS產品。公司總部位於北卡羅來納州凱瑞市，在加利福尼亞州的矽谷、馬薩諸塞州沃爾瑟姆市及法國巴黎均設有辦事處。獲取更多相關信息，敬請訪問：http://www.coventor.com.

MEMS第二聯盟取得的成就

MEMS第二聯盟成功地開發了具有先進功能並可以量產的MEMS器件，例如一款能量採集器、一款振盪器和一款磁力計。

為輪胎氣壓監測系統（TPMS）開發的能量採集器在20g的加速度時顯示的功率頻譜密度為29 mW.Hz，最大輸出功率約為0.47 mW，最大抗震g值超過5000g。。該能量採集器結構非常緊湊，器件大小約為0.12立方厘米。該器件也能用於工業和物聯網（IoT）應用中的醫學健康監測。

該聯盟還開發了一款克服傳統石英晶體振盪器局限的MEMS振盪器，具體體現為小型化、高頻率穩定性和低功耗。該MEMS振盪器使用了一款超低功耗（僅需192 Mw）、高頻率（358 MHz）的氮化鋁諧振器，該器件產生的噪音很低，這對應用於高速通信網絡的消費類電子和無線傳感器來說，是非常重要的特性。

MEMS第二聯盟的另一個重要開發是成本經濟且與互補式金屬氧化物半導體（CMOS）兼容的磁力計，它使用洛倫磁力代替磁性材料來測量磁場，並採用矽通孔晶圓級封裝來減小封裝尺寸。該平台可以在同一片晶圓上集成一個3軸加速度計、一個3軸陀螺儀、一個3軸磁強計和一個壓力傳感器，實現了一個芯片上集成10自由度的慣性測量單元。